北京市北氧特種氣體研究所有限公司

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產(chǎn)品詳細(xì)
潔凈氣體干燥純化器

潔凈氣體干燥純化器

產(chǎn)品型號:BY0GGQT

參考價格:-面議

產(chǎn)地:北京

發(fā)布時間:2012-6-26 14:43:33

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產(chǎn)品介紹:
光學(xué)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器等需要使用潔凈干燥空氣進(jìn)行各種用途的吹掃。吹掃氣體有可能把不需要的氣態(tài)污染物引入光學(xué)鏡片和硅片區(qū)域。這種污染物會吸收光,在鏡片上留下淀積物或者淀積在進(jìn)行工藝加工中的硅片上,從而導(dǎo)致產(chǎn)品損失(很差的圖形品質(zhì))和潛在的工藝設(shè)備損壞(污染物在鏡片表面積聚)。對于使用潔凈干燥空氣作為鏡片的吹掃氣體所碰到的問題,本公司提供了完滿的解決方案,潔凈氣體干燥純化器針對半導(dǎo)體應(yīng)用超高純氣體而設(shè)計的,采用脫烴、硫化物、鹵化物、殘油、灰塵顆粒等雜質(zhì),從而得到潔凈干燥氣體。
技術(shù)參數(shù):
原 料 氣:空氣、氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤、氨氣、二氧化碳、一氧化碳等氣體,露點(diǎn)≤-40℃。
凈化后質(zhì)量指標(biāo):經(jīng)脫水干燥、露點(diǎn)≤-70℃~-90℃,或根據(jù)用戶具體情況而定,經(jīng)后級凈化,可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳?xì)涞鹊入s質(zhì),使空氣達(dá)到潔凈要求。
操 作 壓 力:輸入≥ 0.8MPa( 壓力愈高愈好 ) ,輸出壓力略低于輸入壓力
處 理 氣 量:1—1000Nm 3 /h
適應(yīng)范圍:實(shí)驗(yàn)室氣體分析、載氣、標(biāo)準(zhǔn)氣/混合氣配氣、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、有色金屬加工、精細(xì)化工

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  • 主營行業(yè): 氣氛裝置
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  • 經(jīng)營性質(zhì):股份集團(tuán)
  • 地區(qū):北京
  • 友情鏈接:粉末冶金

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