CVD-1200系統(tǒng)由開啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強(qiáng)控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn), 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長(zhǎng)、電池材料干燥燒結(jié)等。
主要功能和特點(diǎn)：
1、高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成，*高真空可達(dá)0.0001Pa；
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；
4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
5、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6、管路采用世界*Swagelok卡套連接，不漏氣；
7、超溫、過壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠。
主要技術(shù)參數(shù)：
YG-1206管式實(shí)驗(yàn)電爐 控溫方式 采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。
加熱元件 0Cr27Al7Mo2
工作電源 AC220V 50Hz/60Hz
額定功率 4kw
爐管材質(zhì) 高純石英管
爐管尺寸 Φ60/Φ80/Φ100*1000mm
工作溫度 ≤1150℃
*高溫度 1200℃
恒溫精度 ±1℃
恒溫區(qū) 200mm
升溫速度 ≤10℃/min
密封方式 不銹鋼快速法蘭擠壓密封
ZK-F
分子泵真空系統(tǒng) 真空范圍 0.1-0.001Pa
極限真空 4.0*10^-4Pa
產(chǎn)品配置 雙級(jí)旋片真空泵+分子泵
測(cè)量方式 復(fù)合真空計(jì)
真空規(guī)管 電阻規(guī)+電離規(guī)
冷卻方式 風(fēng)冷
工作電源 AC220V 50/60HZ
抽速 110L/S
ZDFC-Ⅲ
壓強(qiáng)控制系統(tǒng) 測(cè)量范圍 5～1*10^-5 Pa
穩(wěn)壓(真空)范圍 1～5*10^-3Pa
壓力(真空)穩(wěn)定精度） ±3%
控制范圍 2.5*10^3～1*10^-4 Pa
控制精度 ± 1%
HQZ-Ⅲ
混氣系統(tǒng) 控制方式 D07-7K質(zhì)量流量計(jì),D08流量顯示儀
流量規(guī)格 0－500SCCM /0－1SLM,（可根據(jù)客戶需要配置）
線性 ±1%F.S
準(zhǔn)確度 ±1%F.S
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec
耐壓 3MPa
氣路通道 3通道（根據(jù)客戶需求）
針閥 316不銹鋼
管道 Φ6mm不銹鋼管
接口 SwagelokΦ6mm