功能特點(diǎn)：
擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)�晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。
★全中文windows操作界面，可編輯參數(shù)，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。
★工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。
★自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。
★工藝中可強(qiáng)制跳到下一個(gè)工藝步運(yùn)行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數(shù)自整定功能。
★系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能。
★智能懸臂推拉舟控制功能。
★停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質(zhì)量流量控制器）。
★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開(kāi)發(fā)相應(yīng)的功能。

主要技術(shù)指標(biāo)：
★爐管內(nèi)徑：¢90~¢300（2英寸~8英寸）
★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：≤1250mm±0.5（300℃~1290℃）
★控溫儀表：進(jìn)口高精度控溫儀
★氣源路數(shù)：主管道1~4路
★氣體種類(lèi)：N2、H2、O2、HCL等
★氣源控制：MFC或浮子流量計(jì)
★推拉舟行程：*大2000mm
★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mm/min
★推拉舟方式：簡(jiǎn)易式、懸臂式、SiC硅槳式
★冷卻方式：水冷+風(fēng)冷
★工控機(jī)：工控機(jī)控制
設(shè)備特性：
具有多條工藝曲線，調(diào)用方便快捷；運(yùn)行中，具有停電記憶功能觸摸微機(jī)界面，操作方便；具有超溫保護(hù)功能