從一無(wú)所有到平等對(duì)話 有研新材打破國(guó)外高純金屬靶材壟斷

早在1842年，科學(xué)家格波夫就在實(shí)驗(yàn)室中發(fā)現(xiàn)了陰極濺射現(xiàn)象，但由于人們對(duì)濺射技術(shù)缺乏深入了解，商業(yè)化的磁控濺射設(shè)備直到1970年才逐漸應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。

20世紀(jì)80年代以后，隨著以集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示器、光存儲(chǔ)器、電子控制器為主的電子與信息產(chǎn)業(yè)開(kāi)始進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)期，磁控濺射技術(shù)才從實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用真正進(jìn)入工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域。

然而，直到21世紀(jì)初，中國(guó)的靶材仍高度依賴進(jìn)口，國(guó)內(nèi)竟無(wú)一家企業(yè)能夠提供高純金屬靶材，市場(chǎng)被日立金屬、TDK等海外企業(yè)完全壟斷。

彼時(shí)，剛剛經(jīng)歷轉(zhuǎn)企改制的有研集團(tuán)正在尋找產(chǎn)業(yè)化落地的項(xiàng)目，經(jīng)過(guò)一年多時(shí)間的調(diào)研，有研團(tuán)隊(duì)將目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)了高純金屬靶材。

據(jù)全程參與研發(fā)的現(xiàn)任有研新材總經(jīng)理王興權(quán)回憶，當(dāng)時(shí)業(yè)內(nèi)對(duì)有研的選擇反響并不積極，很多人根本不相信中國(guó)人還能生產(chǎn)半導(dǎo)體、集成電路用靶材。

2005年，剛剛進(jìn)入靶材領(lǐng)域的有研團(tuán)隊(duì)對(duì)靶材技術(shù)的認(rèn)識(shí)如同一張白紙，全憑信念支撐。

三年以后，有研的靶材進(jìn)入市場(chǎng)，并獲得客戶的基本認(rèn)可，產(chǎn)品開(kāi)始走向正軌。

2012年，有研成為*批進(jìn)入國(guó)家重大專項(xiàng)的企業(yè)，參與了02專項(xiàng)（集成電路）后期的所有項(xiàng)目。在*項(xiàng)目的助力下，憑借對(duì)金屬材料的深刻理解和材料學(xué)的長(zhǎng)期積累，有研成功突破了集成電路靶材從材料到制品的全套技術(shù)，讓國(guó)產(chǎn)高純金屬靶材達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，并擁有全部自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

用王興權(quán)的話說(shuō)：“現(xiàn)在的有研可以跟國(guó)際上任何微電子材料大公司平等的進(jìn)行市場(chǎng)對(duì)話和技術(shù)對(duì)話。”

《大國(guó)之材》：您覺(jué)得我們國(guó)內(nèi)的高純金屬靶材目前的發(fā)展水平處于什么樣的位置？我們存在哪些發(fā)展痛點(diǎn)？

王興權(quán)：我個(gè)人認(rèn)為在微電子靶材這塊，中國(guó)應(yīng)該屬于第二梯隊(duì)，*梯隊(duì)仍然是日本的GX公司和美國(guó)的霍尼爾等公司。在過(guò)去十幾年里，中國(guó)的微電子靶材從零開(kāi)始，能發(fā)展到目前的水平，應(yīng)該說(shuō)成果是非常顯著的。

當(dāng)前的行業(yè)痛點(diǎn)問(wèn)題已經(jīng)不明顯了，國(guó)內(nèi)的微電子靶材基本已經(jīng)與國(guó)際*企業(yè)處于同一競(jìng)爭(zhēng)水平。原來(lái)談到痛點(diǎn)，可以說(shuō)渾身都是痛，關(guān)鍵指標(biāo)不清、核心技術(shù)不通、市場(chǎng)認(rèn)可度低、人才隊(duì)伍缺乏、原材料受制于人等等，都是我們?cè)��?jīng)經(jīng)歷的痛點(diǎn)。

但是國(guó)內(nèi)的微電子靶材發(fā)展到今天，原來(lái)的錐心之痛已經(jīng)不存在了。但是，我們畢竟處于第二梯隊(duì)，更全面的描述當(dāng)前國(guó)內(nèi)微電子靶材的發(fā)展水平，我認(rèn)為是多數(shù)跟從，部分平起，個(gè)別超越。

《大國(guó)之材》：有研新材近幾年高純金屬靶材的市場(chǎng)營(yíng)收增顯著，您分析主要是哪些原因？

王興權(quán)：我覺(jué)得高純金屬靶材的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)*主要取決于三個(gè)因素。首先是大勢(shì)，在過(guò)去的20年里邊，中國(guó)的集成電子領(lǐng)域是一個(gè)穩(wěn)步增長(zhǎng)的發(fā)展階段，中芯國(guó)際等優(yōu)勢(shì)企業(yè)像雨后春筍般涌現(xiàn)出來(lái)。

全球的微電子領(lǐng)域，年平均的發(fā)展速度大約為4%到5%，但是在過(guò)去的20年內(nèi)，中國(guó)微電子領(lǐng)域一直都保持在13%到14%的發(fā)展水平。沒(méi)有微電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，就不可能有相關(guān)的領(lǐng)域裝備和材料的進(jìn)步。

其次，有研科技集團(tuán)（原有色金屬研究總院）主要從事有色金屬領(lǐng)域的共性技術(shù)開(kāi)發(fā)，經(jīng)過(guò)六十多年的積淀，我們擁有大量金屬材料制備和加工技術(shù)，對(duì)金屬材料的理解非常透徹。這些積累為我們?cè)谖㈦娮硬牧项I(lǐng)域的技術(shù)開(kāi)發(fā)和提升提供了巨大支撐。

當(dāng)然，*關(guān)鍵的一點(diǎn)，是有研人的努力和堅(jiān)持，是一種產(chǎn)業(yè)情懷或者說(shuō)國(guó)家情懷，一種我們中國(guó)人必須做得出、做得好的勁頭。

在我們剛剛進(jìn)入這個(gè)領(lǐng)域的時(shí)候，全國(guó)范圍內(nèi)沒(méi)有人做微電子靶材，甚至做集成電路相關(guān)材料的企業(yè)都非常少，那時(shí)候靶材被霍尼韋爾、東曹、威廉姆斯、優(yōu)美科、日礦等國(guó)外企業(yè)壟斷，中國(guó)當(dāng)時(shí)也有幾家公司和科研機(jī)構(gòu)想進(jìn)入這個(gè)領(lǐng)域，但受制于技術(shù)門(mén)檻和市場(chǎng)門(mén)檻，有些單位進(jìn)來(lái)又退出了，有些單位發(fā)展止步不前，國(guó)產(chǎn)靶材行業(yè)發(fā)展起起伏伏。在這中間，有研新材得益于長(zhǎng)期的堅(jiān)持和持續(xù)投入。

當(dāng)然，國(guó)家的重視和支持為我們的發(fā)展提供了強(qiáng)大支撐。

《大國(guó)之材》：2018年靶材市場(chǎng)規(guī)模的增速達(dá)到30%，在半導(dǎo)體方面，增速達(dá)到60%。隨著5G應(yīng)用趨勢(shì)的到來(lái)，微電子靶材的格局會(huì)發(fā)生哪些變化？

王興權(quán)：我認(rèn)為打破國(guó)外企業(yè)占主體的局面，指日可待。現(xiàn)在國(guó)內(nèi)的靶材企業(yè)在國(guó)際范圍內(nèi)競(jìng)爭(zhēng)，從技術(shù)到管理再到市場(chǎng)占有率，已經(jīng)沒(méi)有明顯的劣勢(shì)，尤其是在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)方面，這幾年全球集成電路的產(chǎn)業(yè)布局向中國(guó)大陸在轉(zhuǎn)移。從區(qū)域發(fā)展來(lái)看，中國(guó)大陸的發(fā)展速度會(huì)遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于歐美、東南亞、日本、中國(guó)臺(tái)灣等其他地區(qū)。在市場(chǎng)交互和本地化服務(wù)方面，國(guó)內(nèi)企業(yè)具備獨(dú)特的地緣優(yōu)勢(shì)。

但值得注意的是，從新品開(kāi)發(fā)的角度來(lái)看，目前絕大多數(shù)新產(chǎn)品仍出自國(guó)外企業(yè)，尤其是日本的JX公司，占有靶材新品約60%的份額，一直保持著技術(shù)原發(fā)性優(yōu)勢(shì)，在未來(lái)市場(chǎng)中自然也會(huì)居于主導(dǎo)地位，因此我們?cè)谝欢螘r(shí)間內(nèi)可能還是跟從的狀態(tài)。

但新技術(shù)的引入，尤其是5G技術(shù)的普及將是一個(gè)非常好的契機(jī)。隨著集成電路的線寬越來(lái)越窄，對(duì)材料提出了更高的需求，原來(lái)的材料組分、純度、組織結(jié)構(gòu)已不足以支撐集成電路技術(shù)指標(biāo)的躍升。有研新材對(duì)材料的理解是非常深的，對(duì)材料元素的控制、材料行為控制和組織結(jié)構(gòu)控制是我們的強(qiáng)項(xiàng)。這就給了我們一次突破老產(chǎn)品的固定格局，大家站在同一起跑線上的機(jī)會(huì)。在新產(chǎn)品框架下，我們的材料技術(shù)優(yōu)勢(shì)將發(fā)揮得更淋漓盡致。

另外，隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用領(lǐng)域的拓寬，芯片的特殊功能性需求越來(lái)越高，比如未來(lái)一些芯片制程中對(duì)材料的磁性能、熱效應(yīng)、相變反應(yīng)、壓電效應(yīng)等方面提出特殊需要，很可能已超越了單質(zhì)材料的物理極限，這時(shí)就需要靠特種合金材料、復(fù)合材料或不同材料的復(fù)合工藝才能滿足性能需求，這就涉及到材料性質(zhì)與功能的關(guān)聯(lián)，涉及到材料的設(shè)計(jì)。這時(shí)，誰(shuí)在材料技術(shù)方面積淀深厚，誰(shuí)在功能材料開(kāi)發(fā)方面能力強(qiáng)，誰(shuí)就能抓住微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機(jī)遇，誰(shuí)就能成為未來(lái)的領(lǐng)跑者。

《大國(guó)之材》：有研新材目前在新材料領(lǐng)域所處的一個(gè)行業(yè)地位如何？

王興權(quán)：談到在新材料領(lǐng)域的行業(yè)地位，由于有研新材的產(chǎn)業(yè)覆蓋領(lǐng)域比較廣，需要細(xì)分來(lái)說(shuō)，總結(jié)起來(lái)我們叫“電磁光醫(yī)”四大板塊*發(fā)展。

在微電子薄膜材料領(lǐng)域，目前我們的全球市場(chǎng)占有率大概5%，數(shù)字并不大，但這個(gè)5%的內(nèi)涵很重要，可以分三個(gè)維度來(lái)看。

一是從市場(chǎng)維度來(lái)看，我們目前以國(guó)內(nèi)客戶為主，國(guó)內(nèi)的客戶覆蓋率接近100%，也就是說(shuō)國(guó)內(nèi)幾乎所有微電子企業(yè)都會(huì)用到有研新材的材料。

二是從產(chǎn)品覆蓋維度來(lái)看，我們自己內(nèi)部一種說(shuō)法叫“全餐”。只要是微電子領(lǐng)域用的金屬薄膜材料，無(wú)論是濺射靶材還是蒸發(fā)材料，所有的材料品種、所有的產(chǎn)品型號(hào)有研新材都有。

還有一個(gè)*重要的維度，叫垂直一體化。這一點(diǎn)在全球范圍內(nèi)，只有日本的JX公司和美國(guó)的霍尼韋爾能夠做得到（這兩家也沒(méi)全做到）。我們不僅僅生產(chǎn)靶材和蒸發(fā)材料，還可以自己生產(chǎn)制作靶材的微電子級(jí)原材料， 比如說(shuō)微電子靶材用的銅材，我們能夠把市場(chǎng)上隨處可得的*普通的銅材，提純到“六個(gè)九”的電子級(jí)超高純銅。在微電子領(lǐng)域，能夠做到原材料不受制于人，對(duì)于企業(yè)的存活和發(fā)展至關(guān)重要！

在微電子薄膜材料領(lǐng)域，有研新材已經(jīng)是國(guó)內(nèi)行業(yè)龍頭，技術(shù)優(yōu)勢(shì)、人才優(yōu)勢(shì)、市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)已經(jīng)形成。

在稀土領(lǐng)域，有研新材應(yīng)該說(shuō)是全國(guó)范圍內(nèi)稀土技術(shù)能力*強(qiáng)*全面的企業(yè)。有研新材具備從稀土選礦、稀土分離，稀土金屬制備的全流程原創(chuàng)技術(shù)�，F(xiàn)在全球范圍內(nèi)70%的稀土選冶都源于我們的技術(shù)。目前有研新材是全球*能生產(chǎn)多種超高純稀土金屬的企業(yè)。我們的稀土發(fā)光材料、稀土磁性材料技術(shù)也具備國(guó)內(nèi)*水平。

在紅外光學(xué)材料方面，有研一直掌握著行業(yè)*性技術(shù)，中國(guó)的*根鍺單晶就出自我們之手，目前有研新材是國(guó)內(nèi)*大的紅外鍺單晶和二六族晶體生產(chǎn)企業(yè)。

在生物醫(yī)用材料方面，中國(guó)*根牙弓絲、*支食道支架、*支膽道支架、*支前列腺支架等等，都是由我們出品的。

總而言之，有研新材是一家市場(chǎng)導(dǎo)向、技術(shù)先導(dǎo)型企業(yè)，在材料領(lǐng)域具有強(qiáng)大的技術(shù)創(chuàng)新和技術(shù)轉(zhuǎn)化能力，使企業(yè)在發(fā)展中始終保持旺盛的活力和動(dòng)力，為企業(yè)提供了廣闊的發(fā)展空間。

《大國(guó)之材》：公司對(duì)未來(lái)市場(chǎng)的布局，有哪些新的舉措？

王興權(quán)：我們從現(xiàn)在的戰(zhàn)略維度上來(lái)看，還是圍繞“電磁光醫(yī)”這四個(gè)板塊，這四個(gè)板塊有不同的定位，其資源配置方式和發(fā)展模式也不同。

電子薄膜材料板塊是有研新材的核心業(yè)務(wù)板塊，也是未來(lái)重點(diǎn)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。公司將持續(xù)加大在這一領(lǐng)域的資源配置力度，不斷優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局，壯大產(chǎn)業(yè)規(guī)模，并*終成為全球*的微電子薄膜材料和相關(guān)服務(wù)的提供者。

稀土領(lǐng)域，我們將大力推動(dòng)稀土綠色清潔選冶技術(shù)，提供行業(yè)服務(wù)，助推我國(guó)稀土產(chǎn)業(yè)的良性發(fā)展，同時(shí)充分發(fā)揮全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)優(yōu)勢(shì)，發(fā)展特種磁性材料產(chǎn)業(yè)。

特種光學(xué)材料領(lǐng)域，繼續(xù)保持行業(yè)領(lǐng)頭羊的位置，充分發(fā)揮核心材料優(yōu)勢(shì)，適度延伸產(chǎn)業(yè)鏈。

生物醫(yī)用領(lǐng)域，走市場(chǎng)化道路，引入優(yōu)質(zhì)的資本方和資源方，使其具有高度市場(chǎng)活力和企業(yè)活力，推動(dòng)快速發(fā)展。